发明名称 REPAIR METHOD AND EQUIPMENT OF MULTICHIP MODULE
摘要
申请公布号 JPH07312408(A) 申请公布日期 1995.11.28
申请号 JP19940105156 申请日期 1994.05.19
申请人 HITACHI LTD 发明人 FUKAZAWA HIROSHI;HARADA SHOICHIRO
分类号 H01L23/538;(IPC1-7):H01L23/538 主分类号 H01L23/538
代理机构 代理人
主权项
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