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经营范围
发明名称
MATERIAL FOR VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号
JPH07310177(A)
申请公布日期
1995.11.28
申请号
JP19940100419
申请日期
1994.05.16
申请人
SHIN ETSU CHEM CO LTD
发明人
NAGAO TAKAAKI;SHINDO TOSHIHIKO
分类号
C23C14/10;C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/24
主分类号
C23C14/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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