| 发明名称 |
PROJECTION ALIGNER AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE USING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07312340(A) |
申请公布日期 |
1995.11.28 |
| 申请号 |
JP19940127043 |
申请日期 |
1994.05.16 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
SAKAI FUMIO;YAMAMOTO SUMIMASA |
| 分类号 |
G03B27/54;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027;G03B27/32 |
主分类号 |
G03B27/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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