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发明名称 ION SOURCE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07312191(A) 申请公布日期 1995.11.28
申请号 JP19940127053 申请日期 1994.05.16
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 OKUMURA MASAHIKO;OKAMOTO NORIO
分类号 H01J27/08;H01J37/08;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 H01J27/08
代理机构 代理人
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