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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR MEASURING FILM THICKNESS OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH07311020(A) 申请公布日期 1995.11.28
申请号 JP19940105752 申请日期 1994.05.19
申请人 ASAHI GLASS ENG KK;ASAHI GLASS CO LTD 发明人 AOSAKI KOU;KODERA SHOGO;TANAKA YOSHIKI;HAKU MOTONARI;UZAWA HIDEKI
分类号 G01B11/06;C23C14/54;(IPC1-7):G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
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