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发明名称 PLASMA CVD METHOD AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH07310186(A) 申请公布日期 1995.11.28
申请号 JP19940103037 申请日期 1994.05.17
申请人 NIKON CORP 发明人 OOYAMAGUCHI MAKIKO;SASAGAWA KOICHI
分类号 C23C16/50;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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