| 发明名称 |
DISPOSITIVO DI IRRAGGIAMENTO PER LITOGRAFIA RONTGEN DI PROFONDITA' |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
ITTO941014(A1) |
申请公布日期 |
1995.11.28 |
| 申请号 |
IT1994TO01014 |
申请日期 |
1994.12.12 |
| 申请人 |
JENOPTIK TECHNOLOGIE GMBH |
发明人 |
SEHER BERND;NEULAND RUDI;REUTHER FRANK;MULLER LUTZ |
| 分类号 |
G03F7/20;G03F9/00;G21K5/02;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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