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经营范围
发明名称
LIQUID CONTROLLER
摘要
申请公布号
JPH07308658(A)
申请公布日期
1995.11.28
申请号
JP19940107199
申请日期
1994.05.20
申请人
TOKICO LTD
发明人
SUGIMOTO KOYATA;SANAI YOICHI
分类号
G01N31/00;C02F1/00;H01L21/304;(IPC1-7):C02F1/00
主分类号
G01N31/00
代理机构
代理人
主权项
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