| 发明名称 |
SCANNING PROBE MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07311205(A) |
申请公布日期 |
1995.11.28 |
| 申请号 |
JP19940103800 |
申请日期 |
1994.05.18 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TOMIMATSU SATOSHI;HASEGAWA TAKESHI;HOSOKI SHIGEYUKI;KONO MAKIKO |
| 分类号 |
G01B21/30;G01N37/00;G01Q60/08;G01Q60/54;G01Q90/00;G01R33/10;G01R33/12;H01J37/28;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01B21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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