发明名称 PROBE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07312382(A) 申请公布日期 1995.11.28
申请号 JP19940126898 申请日期 1994.05.17
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON F II KK 发明人 TERADA AKIHIRO
分类号 G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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