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发明名称 SUBSTRATE COATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07310178(A) 申请公布日期 1995.11.28
申请号 JP19950065443 申请日期 1995.03.24
申请人 LEYBOLD AG 发明人 RUDORUFU RATSUTSU
分类号 C04B41/85;C01G19/00;C23C14/08;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/38;C23C14/40;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C04B41/85
代理机构 代理人
主权项
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