发明名称 Dreifache Ablenkung für eine Elektronenstrahlanordnung.
摘要
申请公布号 DE69023030(D1) 申请公布日期 1995.11.23
申请号 DE19906023030 申请日期 1990.02.20
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 DAVIS, DONALD EUGENE, POUGHKEEPSIE, NEW YORK 12603, US;HO, CECIL TZECHOR, POUGHKEEPSIE, NEW YORK 12601, US;LIEBERMAN, JON ERIK, MONTGOMERY, NEW YORK 12549, US;PFEIFFER, HANS, CHRISTIAN, RIDGEFIELD, CONNECTICUT 06877, US;STURANS, MARIS ANDRIS, POUGHQUAG, NEW YORK 12570, US
分类号 H01L21/027;H01J37/147;H01J37/302;(IPC1-7):H01J37/147;H01J37/141;H01J37/30 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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