发明名称 POLYSILANZUSAMMENSETZUNG.
摘要
申请公布号 DE69020534(T2) 申请公布日期 1995.11.23
申请号 DE19906020534T 申请日期 1990.09.27
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KANAI, MASAHIRO CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU TOKYO 146, JP;TANAKA, HISAMI CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU TOKYO 146, JP;SAKOU, HARUMI CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU TOKYO 146, JP;AOIKE, TATUYUKI CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU TOKYO 146, JP;MATUDA, KOUICHI CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU TOKYO 146, JP;SAITOU, KEISHI CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU TOKYO 146, JP;NIWA, MITUYUKI CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU TOKYO 146, JP;SANO, MASAFUMI CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU TOKYO 146, JP
分类号 C08G77/60;C08K3/16;C08K5/17;G03F7/075;H01L51/30;(IPC1-7):C08L83/16;G03G5/07 主分类号 C08G77/60
代理机构 代理人
主权项
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