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发明名称 Wässrig entwickelbarer Trockenphotolack.
摘要
申请公布号 DE69205530(D1) 申请公布日期 1995.11.23
申请号 DE1992605530 申请日期 1992.08.27
申请人 HERCULES INC., WILMINGTON, DEL., US 发明人 MAYES, RICHARD THOMAS, DR., NEWARK, DELAWARE 19711, US;POHL, RUDOLPH LE ROY, DR., WILMINGTON, DELAWARE 19808, US
分类号 G03F7/004;G03F7/027;G03F7/031;G03F7/033;G03F7/038;G03F7/26;H01L21/027;H05K3/00;H05K3/18;(IPC1-7):G03F7/033 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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