发明名称 Herstellung von Vorrichtungen mittels lithographischer Prozesse.
摘要
申请公布号 DE69023073(D1) 申请公布日期 1995.11.23
申请号 DE19906023073 申请日期 1990.07.27
申请人 AT & T CORP., NEW YORK, N.Y., US 发明人 BERGER, STEVEN DAVID, CHATHAM, NEW JERSEY 07928, US;GIBSON, JOHN MURRAY, MORRISTOWN, NEW JERSEY 07960, US
分类号 G03F1/16;G03F7/20;H01J37/317;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01J37/317;G03F7/12 主分类号 G03F1/16
代理机构 代理人
主权项
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