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发明名称 Hochreines hydroxylabgeschlossenes Phenylpolysiloxan mit Leiterstruktur und Verfahren zu seiner Herstellung.
摘要
申请公布号 DE69023109(D1) 申请公布日期 1995.11.23
申请号 DE19906023109 申请日期 1990.12.07
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 YAMAMOTO, SHIGEYUKI, MITSUBISHI DENKI K.K., 8-CHOME, AMAGASAKI-SHI, HYOGO-KEN, JP;ADACHI, HIROSHI, MITSUBISHI DENKI K.K., 8-CHOME, AMAGASAKI-SHI, HYOGO-KEN, JP
分类号 H01L21/768;C08G77/06;C08G77/16;C08G77/20;C08G77/22;C08G77/34;G03F7/075;H01L21/312;H01L23/522;(IPC1-7):C08G77/06 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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