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发明名称 CONTINUOUS PROCESS FOR THE PREPARATION OF SILICON NITRIDE BY CARBONITRIDATION AND SILICON NITRIDE SO ABTAINED
摘要
申请公布号 KR950014209(B1) 申请公布日期 1995.11.23
申请号 KR19930002266 申请日期 1993.02.18
申请人 ELF ATOCHEM S.A. 发明人 BACHELARD, ROLAND;DISSON, JEAN - PIERRE;MORLHON, BRUNO
分类号 C01B21/068;C04B35/626;(IPC1-7):C01B21/068 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
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