发明名称
摘要
申请公布号 JPH07109820(B2) 申请公布日期 1995.11.22
申请号 JP19940070007 申请日期 1994.03.14
申请人 CANON KK 发明人 HIROSE TAKAMASA
分类号 G03B27/32;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03B27/32
代理机构 代理人
主权项
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