发明名称
摘要
申请公布号 JPH07109888(B2) 申请公布日期 1995.11.22
申请号 JP19930344653 申请日期 1993.12.21
申请人 ERU JII SEMIKON CO LTD 发明人 HYOKU ZE RI
分类号 H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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