| 发明名称 |
METHOD OF MAKING CVD Si 3?N 4?. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0682718(A1) |
申请公布日期 |
1995.11.22 |
| 申请号 |
EP19940904809 |
申请日期 |
1993.11.30 |
| 申请人 |
UNITED TECHNOLOGIES CORPORATION |
发明人 |
VELTRI, RICHARD, D. |
| 分类号 |
C23C16/34;C23C16/44;(IPC1-7):C23C16/34;C23C16/30 |
主分类号 |
C23C16/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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