衬底化学腐蚀的设备与方法

摘要

描述了一种用来对铜箔包覆衬底的铜箔进行化学腐蚀的设备和相应的方法。重要的是，此设备包括用来产生化学腐蚀剂束的液束喷射器。这些液束喷射器被安排成可同时获得相当高的腐蚀速率和相当高的腐蚀均匀性。

主权项

1、一种设备，它包含：至少一个第一表面，它有确定的尺寸，并包括一个入口侧和一个出口侧，且其特征为一个从上述入口侧延伸到上述出口侧的轴；在上述表面高出一个距离H处沿平行于上述轴的传送方向从上述入口侧到出口侧传送衬底的装置，其特征是：上述设备还包含许多分隔开的液束喷射器，每个喷射器的特征是直径D，且每个都能够产生喷射到上述衬底上的液束，上述的许多液束喷射器被安排成沿上述表面平行于上述从上述入口侧延伸到上述出口侧的传送方向画出的虚线，且至少与一个液束喷射器的中心相交，任何其它这样的虚线与总数相同的液束喷射器中心相交，任何二条相邻的虚线分隔开一个距离S1，其中S1/D大于0但10。