| 发明名称 | 制造光电换能器的方法 | ||
| 摘要 | 本发明试图提供一种稳定持久高产的制造光电换能器方法，其具有高转换效率和高可靠性便于长期耐用，其特征在于，制造光电换能器的方法，其具有在导电基片上形成功能薄膜，它包括用含水的清洗液对导电基片提供超声清洗，使导电基片表面与净化水接触，并形成功能薄膜。功能薄膜的特征在于，其形成有一金属层作为光反射层，一反射加强层，和一半导体光电器件层，其通过等离子CVD法来制备，其包括含硅原子的非单晶材料作为基质。 | ||
| 申请公布号 | CN1112294A | 申请公布日期 | 1995.11.22 |
| 申请号 | CN94120764.1 | 申请日期 | 1994.12.30 |
| 申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 德武伸郎;佐野政史;林享;东川诚 |
| 分类号 | H01L31/18 | 主分类号 | H01L31/18 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 姜华 |
| 主权项 | 1、一种制造光电换能器的方法，其中一功能薄膜在导电基片上形成，它包括：用含水清洗液对导电基片表面提供超声清洗；然后使导电基片表面与净化水接触；并随后形成功能薄膜。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||