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发明名称 ETCHING METHOD FOR OBTAINING AT LEAST ONE CAVITY IN A SUBSTRATE AND SUBSTRATE OBTAINED BY SUCH METHOD.
摘要
申请公布号 EP0472702(B1) 申请公布日期 1995.11.22
申请号 EP19910906200 申请日期 1991.03.07
申请人 WESTONBRIDGE INTERNATIONAL LIMITED 发明人 VAN LINTEL, HARALD, T., G.
分类号 H01H1/00;H01L21/306;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01H1/00
代理机构 代理人
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