| 主权项 |
1.一种覆于一工件表面上的多层膜反射镜,包括:一位于该工件表面的树脂底涂;一位于该树脂底涂上的结合层,结合层之材料系选自由铬及二氧化钛所组成族群者;一位于该结合层上的铝反射层;以及一位于该铝反射层上的二氧化矽保护层。2.如申请专利范围第1项之多层膜反射镜,其中该树脂底涂的厚度为2到10微米厚。3.如申请专利范围第2项之多层膜反射镜,其中该树脂底涂的厚度为8微米厚。4.如申请专利范围第1项之多层膜反射镜,其中该结合层的厚度为70到150埃。5.如申请专利范围第4项之多层膜反射镜,其中该结合层的厚度是90埃。6.如申请专利范围第1项之多层膜反射镜,其中该铝反射层的厚度为500至1000埃。7.如申请专利范围第6项之多层膜反射镜,其中该铝反射层的厚度为800埃。8.如申请专利范围第1项之多层膜反射镜,其中该保护层的厚度为500至1000埃。9.如申请专利范围第8项之多层膜反射镜,其中该保护层的厚度为700埃。10.一种制造多层膜反射镜的方法,包括下列步骤:(a)于一工件表面涂上一层树脂底涂;(b)于该底涂上沈积一结合层,其材料是择自由铬及二氧化钛所组成之族群者;(c)于该结合层上沈积一铝反射层;以及(d)于该铝反射层上沈积一二氧化矽保护层。11.如申请专利范围第10项之所述之制造方法,其中该步骤(b)(c)(d)皆于一气压为210@su-@su5托耳的真空蒸镀室内完成。12.如申请专利范围第10项之所述之制造方法,其中该底涂是一压克力树脂材料。13.如申请专利范围第10项之所述之制造方法,其中于步骤(a)之前更进一步包括一以水及酒精清洗该工件表面的步骤。14.如申请专利范围第10项之所述之制造方法,其中步骤(a)及(b)之间更进一步包括一将该压克力树脂底涂置于180℃环境中烘烤40分钟的步骤。15.如申请专利范围第10项之所述之制造方法,其中该树脂底涂的厚度为2至10微米。16.如申请专利范围第15项之所述之制造方法,其中该树脂底涂的厚度为8微米。17.如申请专利范围第10项之所述之制造方法,其中该结合层的厚度为70至150埃。18.如申请专利范围第17项之所述之制造方法,其中该结合层的厚度为90埃。19.如申请专利范围第10项之所述之制造方法,其中该反射层的厚度为500至1000埃。20.如申请专利范围第19项之所述之制造方法,其中该反射层的厚度为800埃。21.如申请专利范围第10项之所述之制造方法,其中该保护层的厚度为500至1000埃。22.如申请专利范围第21项之所述之制造方法,其中该保护层的厚度为700埃。图示简单说明: |
