含有 二叠氮化合物及硷溶性树脂之正光阻组成物

摘要

一种正光阻成物，包括下式之化合物 ( Ⅲ ) ：CC (Ⅲ)（式中R4及R5为C1-C4烷基）；二叠氮化合物及含有树脂(A)及低分子量酚醛清漆树脂( B)之硷溶性树脂；其中该树脂(A)系由醛化合物、至少一种下式 ( I ) 之酚化合物及至少一种下式 ( II )之化合物缩合反应所得者：□ (Ⅰ)（式中R1；R2及R3分别为氢厚子，或C1-C4烷基或烷氧基，及 j 系 1 或 2 ）；□ (Ⅱ)（式中R1'及R2'为C1-C4烷基及 n 为 0 或 1 ），其中该化合物 (Ⅲ) 之量，对每100重量份之硷溶性树脂总量而言，为4至40重量份；其中该树脂(A)在GPC图形中转换成聚苯乙烯之分子量不大于1000之范围面积，不超过扣除未反应酚化合物后之总图形面积之30％，而转换成聚苯乙烯之分子量不大于 6000 之范围面积，为扣除未反应酚化合物之总图形面积之15％至65％，且该树脂(A)在GPC图形中，具有2000至20,000之聚苯乙烯转换平均分子量；及其中该低分子量酚醛清漆树脂(B)，在GPC图形中，具有200至1000之聚苯乙烯转换平均分子量，其含量对每100重量份之硷溶性树脂总量而言，为4至50重量份。该正光阻组成物在各种性质(如轮廓，感光度，耐热性及焦点深度)之平衡性质方面极优异。

主权项

1.一种正光阻组成物,包括下式之化合物(Ⅲ):(III)(式中R@ss4及R@ss5为C@ss1-C@ss4烷基);二叠氮化合物及含有树脂(A)及低分子量酚醛清漆树脂(B)之硷溶性树脂;其中该树脂(A)系由醛化合物、至少一种下式(Ⅰ)之酚化合物及至少一种下式(Ⅱ)之化合物缩合反应所得者:(I)(式中R@ss1;R@ss2及R@ss3分别为氢原子,或C@ss1-C@ss4烷基或烷氧基,及j系1或2);(II)(式中R@ss1'及R@ss2'为C@ss1-C@ss4烷基及n为0或1),其中该化合物(Ⅲ)之量,对每100重量份之硷溶性树脂总量而言,为4至40重量份;其中该树脂(A)在GPC图形中转换成聚苯乙烯之分子量不大于1000之范围面积,不超过扣除未反应酚化合物后之总图形面积之30%,而转换成聚苯乙烯之分子量不大于6000之范围面积,为扣除未反应酚化合物后之总图形面积之15%至65%,且该树脂(A)在GPC图形中,具有2000至20,000之聚苯乙烯转换平均分子量;及其中该低分子量酚醛清漆树脂(B),在GPC图形中,具有200至1000之聚苯乙烯转换平均分子量,其含量对每100重量份之硷溶性树脂总量而言,为4至50重量份。2.如申请专利范围第1项之正光阻组成物,其中该式(Ⅱ)化合物系选自下列组群之化合物:及3.如申请专利范围第1项之正光阻组成物,其中该式(Ⅰ)之酚化合物系选自间甲酚,对甲酚,3,5-二甲酚,2,5-二甲酚,2,3,5-三甲基酚及2-第三丁基-5-甲基酚之组群之酚化合物。4.如申请专利范围第1项之正光阻组成物,其中该低分子量酚醛清漆树脂(B)为甲酚酚醛清漆树脂。5.如申请专利范围第1项之正光阻组成物,其中该式(Ⅲ)化合物系选自下列组群之化合物:及6.如申请专利范围第5项之正光阻组成物,其中该式(Ⅲ)化合物系选自下列组群之化合物:及