发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR EXPOSING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07307281(A) 申请公布日期 1995.11.21
申请号 JP19940122031 申请日期 1994.05.12
申请人 NEC CORP 发明人 HASHIMOTO SHUICHI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027;G03B27/32 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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