| 发明名称 |
PATTERN INSPECTION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07306028(A) |
申请公布日期 |
1995.11.21 |
| 申请号 |
JP19940098592 |
申请日期 |
1994.05.12 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
NISHIGAKI HISASHI;NISHIMURA CHIKASUKE;HOSAI HIROAKI;KINOSHITA HIDETOSHI;FUKUTOME YUJI |
| 分类号 |
G01B15/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01B15/00 |
主分类号 |
G01B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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