发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH07307442(A) 申请公布日期 1995.11.21
申请号 JP19950054724 申请日期 1995.03.14
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 YOSHIDA YOSHIFUMI;YOSHIDA SHINICHI;SAITO YUTAKA;OSANAI JUN
分类号 H01L27/04;H01L21/265;H01L21/822;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L27/04;H01L21/823 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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