| 发明名称 |
METAL OXIDE FILM-FORMING COATING AGENT CAPABLE OF PATTERNING AND METHOD FOR PATTERN FORMATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07305030(A) |
申请公布日期 |
1995.11.21 |
| 申请号 |
JP19940295179 |
申请日期 |
1994.11.29 |
| 申请人 |
NISSAN CHEM IND LTD |
发明人 |
NOGAMI TATSUYA;SAKAI RIE;HOSOYA TAKESHI;NAKADA TAKAKAZU |
| 分类号 |
G03F7/004;C09D185/00;G03F7/038;(IPC1-7):C09D185/00 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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