DRY ETCHING APPARATUS,申请号KR19920023687-传众专利搜索

发明名称	DRY ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号	KR950014076(B1)	申请公布日期	1995.11.21
申请号	KR19920023687	申请日期	1992.12.09
申请人		发明人
分类号	H01L21/302;C23F1/02;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/3065;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):C23F1/02	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
主权项
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