发明名称 MANUFACTURE OF THIN-FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH07307474(A) 申请公布日期 1995.11.21
申请号 JP19940120711 申请日期 1994.05.10
申请人 SONY CORP 发明人 HASHIMOTO MAKOTO
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L29/40;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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