| 发明名称 |
MEASUREMENT OF ORIENTATION OF POLYCRYSTALLINE THIN FILM AND ORIENTATION MEASURING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07307370(A) |
申请公布日期 |
1995.11.21 |
| 申请号 |
JP19940099836 |
申请日期 |
1994.05.13 |
| 申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP;RIGAKU CORP |
发明人 |
KOUNO YUMIKO;KATAYAMA MICHIO;JINRIKI HIROSHI;OOTA TOMOHIRO;OGISO KATSUHIKO;OKANDA HITOSHI;SAITO MASAHIKO |
| 分类号 |
G01N23/207;G21K1/06;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01N23/207 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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