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发明名称 MAGNETRON SPUTTERING METHOD
摘要
申请公布号 JPH07305166(A) 申请公布日期 1995.11.21
申请号 JP19940205076 申请日期 1994.08.30
申请人 INST OF FUIJIKUSU OF JI AKAD OF SAIENSUIZU OF THE CHIETSUKO RIPABURITSUKU 发明人 KADORETSUTSU SUTANISURAFU;MUJIRU IINDORITSUFU
分类号 C23C14/34;C22C9/01;C22C9/04;C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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