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发明名称 METHOD OF FORMING TUNGSTEN FILM
摘要
申请公布号 JPH07307311(A) 申请公布日期 1995.11.21
申请号 JP19940100363 申请日期 1994.05.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YAMANE SHUICHI
分类号 C23C16/44;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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