| 发明名称 |
FORMATION OF THIN ALUMINUM NITRIDE FILM AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07305172(A) |
申请公布日期 |
1995.11.21 |
| 申请号 |
JP19940121711 |
申请日期 |
1994.05.10 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
SETOGUCHI YOSHITAKA;NISHIKAWA KIMITO;OGATA KIYOSHI |
| 分类号 |
C23C16/02;C23C16/34;(IPC1-7):C23C16/34 |
主分类号 |
C23C16/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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