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发明名称 METHOD OF FORMING THIN FILM WIRING PATTERN AND MANUFACTURE OF THIN FILM WIRING BOARD
摘要
申请公布号 JPH07307549(A) 申请公布日期 1995.11.21
申请号 JP19940097454 申请日期 1994.05.11
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 OYAMA KATSUHIKO
分类号 H05K1/09;H01L21/306;H05K3/06;(IPC1-7):H05K3/06 主分类号 H05K1/09
代理机构 代理人
主权项
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