发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'UN DISPOSITIF SEMI-CONDUCTEUR COMPRENANT UNE ELECTRODE EN METAL REFRACTAIRE SUR UN SUBSTRAT SEMI-ISOLANT
摘要
申请公布号 FR2643192(B1) 申请公布日期 1995.11.17
申请号 FR19890011222 申请日期 1989.08.24
申请人 MITSUBISHI DENKI KK 发明人 YASUTAKA KOHNO;MASAYUKI SAKAI
分类号 H01L21/31;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/316;H01L21/338;H01L21/768;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/285;H01L29/58 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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