发明名称 DISPOSIZIONE PER LA POLVERIZZAZIONE CATODICA SECONDO IL PRINCIPIO DEL MAGNETRON PER IL RIVESTIMENTO DI UNA SUPERFICIE A FORMA DI ANELLO CIRCOLARE
摘要
申请公布号 IT1255815(B) 申请公布日期 1995.11.16
申请号 IT1992MI01969 申请日期 1992.08.10
申请人 LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 BRAUER GUNTER
分类号 C23C14/35;C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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