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发明名称 Belichtungsvorrichtung.
摘要
申请公布号 DE68922945(T2) 申请公布日期 1995.11.16
申请号 DE19896022945T 申请日期 1989.09.08
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MIZUSAWA, NOBUTOSHI, YAMATO-SHI KANAGAWA-KEN, JP;EBINUMA, RYUICHI, KAWASAKI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;KARIYA, TAKAO, HINO-SHI TOKYO, JP;UZAWA, SHUNICHI, TOKYO, JP;SHIMODA, ISAMU, ZAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP
分类号 G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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