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发明名称 Verfahren zur automatischen Steuerung der Züchtung des Halsteiles eines Einkristalles.
摘要
申请公布号 DE69202996(T2) 申请公布日期 1995.11.16
申请号 DE19926002996T 申请日期 1992.02.12
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ARAKI, KENJI, 3-13-37, TSOBE, ANNAKA-SHI, GUNMA 379-01, JP
分类号 C30B15/22;G05B13/02;(IPC1-7):C30B15/22 主分类号 C30B15/22
代理机构 代理人
主权项
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