发明名称 Piezoelektrischer Antrieb.
摘要
申请公布号 DE3751183(T2) 申请公布日期 1995.11.16
申请号 DE19873751183T 申请日期 1987.09.28
申请人 MITSUBISHI CHEMICAL CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 CHIDA, YUKIO MITSUBISHI CHEMICAL INDUSTRIE, MIDORI-KU YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;NISHIMURA, TETSUHIKO C/O MITSUBISHI CHEM.IND.LTD., MIDORI-KU YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;OGURI, YASUO C/L MITSUBISHI CHEMICAL IND.LTD., MIDORI-KU, JP
分类号 H01L41/09;(IPC1-7):H01L41/08 主分类号 H01L41/09
代理机构 代理人
主权项
地址