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发明名称
摘要
申请公布号 JPH07107967(B2) 申请公布日期 1995.11.15
申请号 JP19860003428 申请日期 1986.01.13
申请人 发明人
分类号 H03H9/02;H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;H03H3/08;H03H9/08;H03H9/145;(IPC1-7):H03H9/145;H01L21/320 主分类号 H03H9/02
代理机构 代理人
主权项
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