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发明名称 LASER GENERATED I.C. PATTERN.
摘要
申请公布号 EP0627122(A4) 申请公布日期 1995.11.15
申请号 EP19920915225 申请日期 1992.02.28
申请人 LASA INDUSTRIES, INC. 发明人 DOOLEY, DANIEL, J.;ESLEA, ARTHUR, R., JR.
分类号 G03F7/004;G03F7/20;G03F7/40;H01L21/20;H01L21/268;H01L21/3065;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/268 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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