发明名称 A wafer etching drum and an automatic wafer transfer apparatus.
摘要
申请公布号 EP0523836(B1) 申请公布日期 1995.11.15
申请号 EP19920305005 申请日期 1992.06.01
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED 发明人 HASEGAWA, FUMIHIKO;YAMAMOTO, TATSUYA;SATO, SHINJI
分类号 H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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