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发明名称 STRUTTURA SOI CON OSSIDO SOTTILE E PROFONDO OTTENUTA PER IMPIANTAZIONEIONICA AD ALTA ENERGIA E SUCCESSIVI TRATTAMENTI TERMICI.
摘要
申请公布号 IT1255764(B) 申请公布日期 1995.11.15
申请号 IT1992MI01171 申请日期 1992.05.15
申请人 ENICHEM 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/265;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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