发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07302911(A) 申请公布日期 1995.11.14
申请号 JP19940111882 申请日期 1994.04.28
申请人 CASIO COMPUT CO LTD 发明人 WAKAI HARUO;SADABETTO HIROYASU;MATSUMOTO HIROSHI
分类号 H01L29/40;H01L21/265;H01L21/316;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L29/40
代理机构 代理人
主权项
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