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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07302835(A) 申请公布日期 1995.11.14
申请号 JP19940114018 申请日期 1994.04.28
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 AMANO SHIGEKI
分类号 H01L21/76;H01L21/265;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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