发明名称 |
FORMATION OF METALLIC THIN FILM PATTERN |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07300684(A) |
申请公布日期 |
1995.11.14 |
申请号 |
JP19940091294 |
申请日期 |
1994.04.28 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
WADA KUMIKO;TOZAKI YOSHIHIRO |
分类号 |
C23F1/00;G11B5/31;H01F41/18;H01F41/34;(IPC1-7):C23F1/00 |
主分类号 |
C23F1/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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