发明名称 FORMATION OF METALLIC THIN FILM PATTERN
摘要
申请公布号 JPH07300684(A) 申请公布日期 1995.11.14
申请号 JP19940091294 申请日期 1994.04.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 WADA KUMIKO;TOZAKI YOSHIHIRO
分类号 C23F1/00;G11B5/31;H01F41/18;H01F41/34;(IPC1-7):C23F1/00 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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