| 发明名称 |
FERROELECTRIC THIN FILM ELEMENT AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07300397(A) |
申请公布日期 |
1995.11.14 |
| 申请号 |
JP19940096307 |
申请日期 |
1994.05.10 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
TAKAYAMA RYOICHI;FUJII SATORU;FUJII AKIYUKI;TOMOSAWA ATSUSHI;TORII HIDEO |
| 分类号 |
G01J5/02;C01G23/00;C30B29/32;G01J5/34;H01B3/00;H01L37/02;H01L41/08;(IPC1-7):C30B29/32 |
主分类号 |
G01J5/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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