发明名称 FILM FORMATION AND APPARATUS THEREFOR BY PHOTO-CVD
摘要
申请公布号 JPH07300677(A) 申请公布日期 1995.11.14
申请号 JP19920100535 申请日期 1992.03.26
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL;ASAHI GLASS CO LTD;ISUZU CERAMICS KENKYUSHO:KK;NTN CORP;NIPPON SEIKO KK 发明人 SHIKADA YORIO;KIKUCHI KAORU;HASHIZUME KENICHI;MITSUI AKIRA;OTSUKA YOSHIRO;TANIGUCHI MASAHIKO;NAKANISHI KIYOSHI;IWASAKI MIKA;ITO HIROYUKI;SAITO TAKESHI;TAKAHASHI KUNIHIKO
分类号 C23C16/48;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/48 主分类号 C23C16/48
代理机构 代理人
主权项
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